기기정보및예약

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보유기기

KAIST 중앙분석센터에서 보유하고 있는 기기들의 정보와 각 기기의 예약현황 정보를 제공합니다.
  • [기계-10] 전자빔 진공증착기
    [기계-10] E-beam Evaporator System(clean room) / 공동활용 서비스
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    • 모델명EB500SERIES 
    • 제작사Alpha-plus  
    • 설치장소기계공학동 N7 117(크린룸)
    • 관리자/이메일손재현 / sonjh02@kaist.ac.kr
    • 담당자/이메일김현돈 / hd.kim@kaist.ac.kr
    • 담당자 연락처042-350-5234
    사용요금
    내부 : 100,000원/1h
    외부 : 200,000원/1h
    기타 :
    예약정보
    사용최소시간 : 1 시간
    사용최대시간 : 30 시간
    예약가능기간 : 현재일로부터 13일 후까지 예약가능
    취소불가시간 : 예약시간으로부터 12시간 이전

    즐겨찾기

예약관련 안내사항


E-beam evaporator는 각종 금속(Au, Al, Ti, Cr, 등)과 유전체(SiO2)의 박막을 기판 위에 증착할 수 있는 장비로써, 반도체 공정 및 MEMS 공정에 필요한 전극 제작에 주로 사용되며, 이외에도 다양한 용도에 응용될 수 있다. 박막 증착시 박막 두께 측정 센서를 통해 박막의 두께를 확인하며 공정을 진행할 수 있다. 2cm*2cm의 조각 웨이퍼에서부터 4" 웨이퍼까지 가능하다.

  E-Beam Source

     -Hearth Quantity : Standard 6

     -Crucible Capacity : 25 cc

     -Deflection Angle : 180’, 270’

     -Maximum Output Power : 10 kw

 

   Vacuum Chamber(Front Door Type)

      -Diameter : 900 ~ 1500 mm

      -Height : 1200 ~ 1500 mm

      -Special (Custom Made)

MEMS, 반도체 소자, 마이크로/나노 광학소자 등


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