기기정보및예약

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KAIST 중앙분석센터에서 보유하고 있는 기기들의 정보와 각 기기의 예약현황 정보를 제공합니다.
  • [기계-06] 전자현미경 
    [기계-06] Cold FE SEM with EDX system / 공동활용 서비스
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    • 모델명S-4300
    • 제작사HITACHI (일본)
    • 설치장소기계공학동 N7 4170
    • 관리자/이메일여상은 / yse97@kaist.ac.kr
    • 담당자/이메일 / 
    • 담당자 연락처
    사용요금
    내부 : SEM 기계과 2만원/h(EDx별도 1만원/h)
    외부 : SEM 4만원/h(EDx별도 2만원/h)
    기타 : SEM 5만원/hr
    예약정보
    사용최소시간 : 1 시간
    사용최대시간 : 24 시간
    예약가능기간 : 현재일로부터 13일 후까지 예약가능
    취소불가시간 : 예약시간으로부터 2시간 이전

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예약관련 안내사항


물질의 미세구조관찰,구서원소 분석

 

일반 주사 현미경에 비해 분해능이 뛰어나고, 저 가속전압에서 비교적 고배율로 관찰할 수 있는 장점이 있다. 미세 구조 관찰과 더불어 EDX의 장착으로 미소 영역의 원소 분석이 가능하다. 철강 및 각종 기능성 금속재료, 표면처리 및 박막제조 분야, 반도체 재료분야, 비산화물 세라믹스 등의 분석에 이용할 수 있다.

Specification

  ⑴ Column

    -Secondary electron image resolution
       1.5nm guaranteed at 15kV or better
       5.0nm guaranteed at 1kV or better

    -Magnification : 20 to 500,000x or wider

    -Accelerating voltage : 0.5 - 30kV or wider

    -Gun source : Should be Cold Field Emission gun

    -Stigmator : 8-pole electromagnetic type (X, Y)

  ⑵ EDX(Energy Dispersive X-ray Micro Analyzer )

    -Resolution : 10mm2, 138 eV at Mn Ka

기계, 화학, 물리, 생명, 재료 


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