기기정보및예약

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KAIST 중앙분석센터에서 보유하고 있는 기기들의 정보와 각 기기의 예약현황 정보를 제공합니다.
  • [기계-07] 광학식 치수 및 표면 형상 측정기
    [기계-07] Optical Dimension & Surface Profile Measuring Machine / 공동활용 허용
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    • 모델명MPC802(+NS-E1000)
    • 제작사WEGU-Messtechnik, W.GermanyNanoSystems CO., Ltd. 
    • 설치장소KI빌딩(C501호) -> 기계공학과부페동
    • 관리자/이메일강현재 / subibler@kaist.ac.kr
    • 담당자/이메일 / 
    • 담당자 연락처
    사용요금
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    예약정보
    사용최소시간 : 0 시간
    사용최대시간 : 0 시간
    예약가능기간 : 현재일로부터 0일 후까지 예약가능
    취소불가시간 : 예약시간으로부터 0시간 이전

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예약관련 안내사항

현산업계에서는 각종 기계류, 정밀소형 부품, 금형, 광학부품 및 자동차나 항공기의 모의실험을 위한 정밀도형등에 대한 마이크로 미터 단위의 정밀한 측정기술을 요구하고 있다. 본 장비는 이러한 정밀측정에 대한 교육 및 학술연구 수행을 위한 범용측정 장비로서 기존의 접촉식 프로브(Touch trigger probe)와 함께 CCD 카메라를 이용한 비접촉식 프로브(Vision probe)를 장착하고 있다.
   본 측정장비는 이러한 비접촉식 프로브를 이용하여 기존의 접촉식 프로브로는 측정할 수 없었던 반도체의 웨이퍼상의 각종 패턴의 기하학적 형상 및 새도우마스크(Shadow mask)와 같은 유연한 측정물에 대한 3차원 형상측정등 접촉식 프로브의 단점을 보완할 수 있다. 그리고 측정된 데이터를 이용한 여러 가지 자료분석을 수행할 수 있으므로 여러분야에서 활용할 수 있다.

·접촉식 및 비접촉식 프로브를 이용한 각종 기계류 및 금형 제품에 대한 3차원 형상측정
·비접촉식 프로브를 이용한 각종 패턴에 대한 2차원 형상측정
·렌즈 및 금형등 정밀부품에 대한 3차원 형상측정
·측정범위 : X=860mm , Y=700mm
                      Z1=300mm , Z2=300mm
·측정센서 : Vision probe, Laser probe
·분해능 : ±0.5㎛
·측정정밀도 : U=(1.9+L/3.0)㎛
·최대측정속도 :250mm/s



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