기기정보및예약

기기정보및예약보유기기

보유기기

KAIST 중앙분석센터에서 보유하고 있는 기기들의 정보와 각 기기의 예약현황 정보를 제공합니다.
  • [기계-05] 대형 노광기
    [기계-05] Mask Alignment and Exposure System(clean room) / 공동활용 서비스
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    • 모델명MDA-12000B 
    • 제작사MIDAS(한국)
    • 설치장소기계공학과 클린룸(1117호)
    • 관리자/이메일권동욱 / dukwon8158@kaist.ac.kr
    • 담당자/이메일 / 
    • 담당자 연락처
    사용요금
    내부 : 기본료 5만 +추가2만(30분)
    외부 : 기본료 10만 +추가3만(30분)
    기타 : 기본료 7.5만 +추가3만(30분)
    예약정보
    사용최소시간 : 1 시간
    사용최대시간 : 24 시간
    예약가능기간 : 현재일로부터 13일 후까지 예약가능
    취소불가시간 : 예약시간으로부터 2시간 이전

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예약관련 안내사항


photolithography 공정

6인치용 photolithography 노광 장비 (자외선 이용)

photolithography UV 조사 실험


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